磁柵尺--利用磁極的原理制作而成的傳感器

光柵尺--利用光的干涉和衍射原理制作而成的傳感器。當兩塊柵距相同的光柵疊放在一起，同時讓線紋構(gòu)成一微小角度，這時在平行光照射下，與刻線垂直方向上就能看到對稱分布的明暗相間的條紋，稱為莫爾條紋，因此莫爾條紋是光的衍射和干涉作用的總效果。當光柵移動單個小柵距時，莫爾條紋隨之移動單個條紋間距，這樣，我們量測莫爾條紋的寬度就比量測光柵線紋寬度容易的多。此外，由于每條莫爾條紋都是由許多光柵線紋的交點組成，當線紋中有一條線紋有誤差時（間距不等或傾斜），這條有誤差的線紋和另一光柵線紋的交點位置將產(chǎn)生變化。但是，一條莫爾條紋是由許多光柵線紋交點組成，因此，單個線紋交點位置的變化，對于一條莫爾條紋來講其影響就非常小了，所以莫爾條紋可以起到放大和平均的作用。

  磁柵尺--利用磁極的原理制作而成的傳感器?；呤潜痪鶆虼呕匿搸?。S和N極均勻間隔排列在鋼帶上，通過讀數(shù)頭讀取S，N極的變化來記數(shù)。

  光柵尺受溫度影響較大，一般使用環(huán)境在40攝士度以下。（三坐標量測機一般都要求在恒溫橫濕環(huán)境下量測，保證量測精度。）

  敞開式磁柵尺容易受磁場影響，封閉式磁柵尺則無此困擾，但成本較高。

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